اندازه گیری ضخامت شکست لایه های نازک

در این رساله نخست تاریخچه تهیه لایه نازک ، چگونگی تهیه و روشهای مختلف همچنین شرایط لایه گذاری ذکر گردیده سپس چگونگی آماده سازی زیر لایه و شرایط لازم برای لایه نشانی آمده است . در ادامه راههای مختلف اندازه گیری ضخامت و همچنین دقت روشهای مختلف اندازه گیری بیان شده است . در قسمت کارهای عملی و تحقیقات انجام شده سیستمهای لایه گذاری مورد استفاده به همراه شمای اپتیکی دستگاه نشان داده شده است . در این قسمت ضخامت لایه های دی الکتریکی که به دو صورت تک پله و دو پله تهیه شده اند با استفاده از فریزرهای هم ضخامت اندازه گیری شده اند. سپس با کاربرد این ضخامت ها در روش اپتیکی الگوی تداخلی سه روزنه یانگ ، ضریب شکست لایه دی الکتریک محاسبه شده است . با معلوم بودن ضریب شکست لایه نازک ، ضخامتهای دلخواهی از این لایه بر روی شیشه رشد داده شدند و مهمترین روش قابل کنترل ضخامت یعنی تهیه لایه با ضخامت دلخواه حین لایه نشانی معرفی گردیده است . پیشنهاد برای ادامه کار و ساخت دستگاههای اندازه گیری ضخامت در پایان گزارش ذکر گردیده است .